摘要:随着集成电路测试精度要求的不断提高,测试设备自身的长期运行稳定性已成为影响测试质量与成本的关键因素。传统基于固定置信水平阈值的监测方法因其静态特性,难以适应设备在长期运行中因老化、环境波动等引起的性能动态漂移,常导致误报或漏报,制约了预测性维护的实现。为此,提出一种融合高斯混合模型(GMM)与KL散度的动态阈值优化监测方法。该方法首先利用GMM对测试数据的多模态分布进行精确建模,有效刻画设备在复杂多工况下的运行状态;进而引入KL散度实时量化监测数据与健康基准模型之间的分布差异;在此基础上,创新性地基于历史KL散度序列滚动更新异常判定阈值,使阈值能够随数据分布的自然漂移而自适应调整。这一机制从根本上克服了静态阈值与动态过程之间的失配问题,提升了监测系统对缓慢性能退化与突发异常的感知能力。实验结果表明,相较于传统的K均值聚类固定阈值方法,所提方法在异常检测准确率与F1分数上均取得显著提升,能够更灵敏、可靠地识别测试设备的性能波动与早期故障。该方法不仅为集成电路测试设备的稳定性监测与预测性维护提供了有效技术手段,其通过概率建模感知分布变化并实现阈值自适应的核心框架,也具备向其他工业装备健康管理领域推广的潜力。该框架通用性强,为动态运行环境下的设备状态监控提供了具备持续适应能力的新思路。