广东工业大学 机电工程学院广州510006
TH391.4TH89
广东省基础与应用基础研究基金项目(2022B1515120053)、广东省省级科技计划项目(2023A0505050151)、东莞市重点领域研发项目(20221200300042)资助
School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China
黄志海,邓耀华,吴光栋. IC器件表面缺陷多光谱图像特征融合检测方法[J].仪器仪表学报,2024,45(9):24-33
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