摘要:随着光子芯片技术的快速发展,先进的光电芯片测试系统受到越来越多的研究关注。 然而,现有光子芯片测试系统主 要针对通信芯片的需求开发,缺少对环境参量的控制功能,难以满足传感芯片的研发需求。 本文报道了一种基于光栅耦合技术 的光子芯片传感测试系统,可以实现光栅自动耦合、环境控制与感知、数据处理与交互等功能,并利用此系统完成了基于微环谐 振腔光学芯片的气体浓度传感与温度传感实验。 结果表明,在常温常压条件下,此系统可以对浓度为 20% ~ 80% 之间的 CO2 气 体进行检测,灵敏度可以达到 0. 152 GHz/ % ( 2. 113 pm/ % ),同时可以对 30℃ ~ 35℃ 之间的环境温度进行检测,灵敏度为 4. 996 GHz/ ℃ (74. 891 pm/ ℃ )。 本工作为光学传感芯片的研发提供了快速高效的技术手段。