摘要:基于当前高能同步辐射光源(HEPS)装置的沉降监测需求,课题组设计关键参数和结构,研制了国内首个微米级单极板 电容式静力水准器样机。 本文重点研究该水准器的标定和精度验证,针对传统的标准量块和位移台标定法存在标定精度低、机 械加工要求高等问题,创新性采用单水准器直接标定法和多段拟合参数获取方案,实现 10 mm 量程的微米级标定;同时提出采 用激光反馈干涉仪联合纳米级位移台直接监测液位变化,实现单水准器的全量程精度验证,精度 3 μm;通过重载位移台进行了 7 m 距离的两点监测系统的精度验证,在 10 mm 量程内相对高程监测精度可达到 5 μm。 结果表明样机精度符合设计要求,可 为我国大型装置的高精度高程向监测提供可靠手段。