摘要:在基于 Zygo 干涉仪的非球面检测中,沿光轴(Z 轴)方向的定位精度直接影响测量结果的准确性。 本文提出了一种基 于最小 PV 值的非球面测量 Z 轴定位方法,分析了非球面与参考球面波的理论模型,推导出了对应的最佳参考球面波半径、顶 点偏离量以及理论测量位置,并在此基础上完成了沿 Z 轴方向 0. 001 mm 精度范围内的定位过程。 该方法可将被测非球面定 位至理论测量位置,有效地降低由于定位误差造成的测量误差;准确找到参考球面波半径,对基于 Zygo 干涉仪的点云重构和拼 接方法也具有重要意义。 对一直径为 108 mm 的非球面镜进行了实验验证,定位后的结果与最佳参考球面波的点云数据计算 结果对比,结果接近,证明了定位方法的正确性;并与零位检测结果相比,PV 值残差为 0. 047 λ,RMS 残差为 0. 019 λ,进一步证 明了该定位方法的准确性。