摘要:航天飞行器在返回地球大气层时外表面会产生兆瓦级的热流,瞬时温升可达 1 800℃ ,为了保证飞行器的稳定安全运 行,准确实时测量飞行器热防护系统表面热流具有非常迫切和重要的意义。 针对高温热流检测的技术难题,提出了一种引线与 基底一体化的新型热流传感器结构。 结合陶瓷烧结静压成型和磁控溅射技术,通过在嵌入 PtRh6 引线的 99 氧化铝陶瓷基底端 面依次沉积 PtRh30-PtRh6 热电堆薄膜、Al 2O3 薄膜、ZrO2 薄膜,研制了一款新型高温薄膜热流传感器,并对热流传感器进行了静 态、动态性能、耐高温及重复性测试。 结果表明,所研制的传感器灵敏度可达 0. 01 μV/ (W/ m 2 )以上,传感器动态响应时间为 3. 97 s,对传感器进行 1200℃高温实验,结果显示传感器经历高温前后输出信号无明显变化,传感器最大重复性误差为 2. 38% 。 所研制的高温薄膜热流传感器可为高温热流测量和热防护系统优化提供科学依据。