摘要:采用双材料微悬臂梁结构,实现了一种对微量液体浓度的定量检测方法。 该方法是基于双材料微悬臂梁的温度敏感 性,当微定量液体分析物吸收光热光谱特征波长的光时,温度发生变化,悬臂梁相应会发生弯曲,通过光杠杆法测量弯曲量, 从而实现微悬臂梁对微量液体浓度的定量检测。 为了验证对微量液体浓度测量的适用性,实验中采用了已知在 980 nm 处 光热吸收峰的 NaYF4 样品溶液,分别取多组已知浓度的样品溶液 1 和 0. 5 μL 体积进行测量,通过最小二乘法拟合出浓度与 测得电压值之间的关系,结果显示,液体浓度与所测得的电压值成呈线性关系,与理论分析符合。 且在 1 和 0. 5 μL 体积的样 品溶液拟合曲线的线性相关系数分别为 R1 = 0. 998 0,R2 = 0. 989 5,分辨力分别为 1. 25,1. 40 mg / mL。 最后通过测试 1 μL 体 积的多组浓度溶液,其浓度测量结果误差均在在 2 mg / mL 以内,表明该方法能有效检测浓度,可用于确定体积微量液体的浓 度检测。